Описание:

Ручные зондовые станции для выполнения измерений высокой мощности компании MPI.

Станции для устройств высокой мощности компании MPI предназначены для тестирования устройств высокой мощности на полупроводниковой пластине. Зондовые станции TS150-HP и TS200-HP компании MPI обеспечивают реализацию технического решения для измерений на пластине с расстоянием до 150 мм и 200 мм. Они позволяют успешно выполнять измерения низкого контактного сопротивления мощных полупроводниковых устройств в широком температурном диапазоне.

Зондовые станции для выполнения измерений высокой мощности компании MPI

10 кВ – 600 А

Станции для получения характеристик устройств высокой мощности компании MPI предназначены для выполнения тестирования устройств высокой мощности на полупроводниковой пластине. Данные станции поддерживают прецизионное измерение 3 кВ триаксиальными / 10 кВ коаксиальными держателями и 600 A (импульсное) измерение, одновременно обеспечивая защищенную тестовую среду с низким уровнем шума.

Решения

Технические решения компании MPI для зондовых станций для выполнения измерений высокой мощности состоят в применении специальных сильноточных зондов высокого напряжения, которые используют патентованные многоконтактные наконечники для уменьшения контактного сопротивления. Зонды высокого напряжения компании MPI обеспечивают измерения с низким током утечки во время проведения электрических испытаний с триаксиальными 3 кВ или 5 и 10 кВ коаксиальными держателями. 

Патентованные соединители для триаксиальных держателей

 

 

 

      

Патентованные триаксиальные соединители компании MPI предлагают удобное изменение конфигурации между 3 кВ триаксиальной и 10 кВ коаксиальной с низким уровнем шума конструкциями без изменения подключения держателя. 

Держатели высокой мощности

Верхняя часть термических держателей компании MPI с регулировкой температуры или ERS AirCool® и широким температурным диапазоном до 300° C имеет низкое контактное сопротивление и позолоченное покрытие. Держатели представляют собой полностью интегрированное устройство с функцией удержания полупроводниковых пластин толщиной до 70 мкм.  

Требования к безопасности

В составе станций высокой мощности имеется светоизоляционный корпус или световой занавес для защиты от инфракрасного лазера с системой блокировки для обеспечения безопасности среды измерения. 

Руководство по выбору приборов высокой мощности компании MPI

• - рекомендовано
о - в наличии

Платформа на пневматических  подшипниках

Конструкция платформы станции на пневматических подшипниках с простым управлением держателя одной рукой обеспечивает удобство управления для своевременной навигации по поверхности пластины и ее быстрой загрузки без ухудшения параметров прецизионного позиционирования. В  состав конструкции входит дополнительный микрометрический винт для движения по осям  XY и углу с шагом 25 x 25 мм.

Коаксиальные держатели пластин 10 кВ и триаксиальные держатели пластин 3 кВ

Компания MPI предлагает коаксиальные 10 кВ держатели и триаксиальные 3 кВ держатели с температурным откликом, а также различные термические держатели, удовлетворяющие требования, как к бюджету, так и к измерениям, для выполнения измерений в температурном диапазоне до 300 °C. Блок управления температурой с сенсорным дисплеем предназначен для установки на самом зонде для обеспечения быстрого и удобного управления.

Зонды высокого напряжения / сильного тока (HV/HC)

Технические решения для выполнения измерений устройств высокой мощности состоят в использовании специализированных зондов высокого напряжения и сильного тока, в которых применяются разработанные компанией MPI многоконтактные наконечники для уменьшения контактного сопротивления. Зонды высокого напряжения MPI обеспечивают измерения с низким током утечки во время проведения электрических испытаний с триаксиальными 3 кВ или 5 и 10 кВ коаксиальными держателями.

Безопасность и точность

В составе станции TS150-HP имеется свето- и шумоизоляционный корпус с системой блокировки для обеспечения безопасности и защиты от электромагнитных помех, таким образом, выполняя прецизионные измерения с низким уровнем шума. Станция оборудована интерфейсной панелью для сенсорного распознавания контрольно-измерительного оборудования (Keithley или Keysight).

Держатель пластинTS150-HP для измерения высокой мощности оборудован дополнительным верхним поддоном с электрическими соединениями для подмагничивания. Поддон предназначен для сохранения фторированной жидкости для рентабельных дугогасительных решений.

Комплектующие:

Зондовые головки

 

Микропозиционер MP25

 

Микропозиционер MP40

Микропозиционер MP50 

Микропозиционер MP60

Микропозиционер MP60-MR

 

Микропозиционер MP80

 

Микропозиционер MP80-DX