Характеристики и описание
- Страна производительГермания
Описание
Установка для нанесения многослойных покрытий высокой однородности на оптические поверхности большой площади посредством осаждения двойным ионным пучком (DIBD) sciaCoat 500.
Установка SciaCoat 500 предназначена для однородного покрытия высокопрецизионной оптики. Основной сферой применения системы является нанесение многослойных пленок на рентгеновские зеркала и покрытий фильтров.
В установке SciaCoat 500 луч от источника линейного ионного пучка направляется на прямоугольную мишень для распыления. Эта линейная геометрия обеспечивает хорошую однородность нанесения пленки в одном измерении. При этом образец перемещается по линейной оси в направлении, перпендикулярном профилю пучка, что способствует однородности или определенным градиентам покрытия во втором измерении.
Кроме того, держатель образца может вращаться по оси и оснащен в передней части системой сменных форм (до 4 форм).
Технические характеристики
|
Диаметр подложки |
До 200 мм с загрузочным шлюзом; |
|
Источник ионного пучка |
Прямоугольный источник на основе электронно-циклотронного резонанса (ECR), поддерживаемый микроволновым излучением LIN380-e |
|
Нейтрализатор |
Нейтрализатор типа «плазменный мост» N-DC |
|
Держатель мишени |
Барабан с 6 мишенями (наклоняемыми), каждая с размером максимум 400 мм х 200 мм |
|
Типичная скорость осаждения |
Si: 10 нм/мин |
|
Рабочие характеристики по осям |
Линейная скорость от 0,01 мм/мин до 15 мм/мин; вращение до 300 об/мин |
|
Отклонение однородности |
≤ 0,5 % при диаметре 200 мм; |
|
Давление на основание |
≤ 5 x 10-8мбар |
|
Размеры системы (Ш х Г х В) |
3,30 м x 1,70 м x 2,10 м (без электрической стойки, насосов и загрузочного шлюза) |
|
Конфигурации системы |
1 рабочая камера, 1 загрузочный шлюз (опция) |
|
Программный интерфейс |
SECS II / GEM, OPC по запросу |
Установка для нанесения многослойных покрытий высокой однородности на оптические поверхности sciaCoat 500
Под заказ
Цену уточняйте
Минск ∙
Доставка
Оплата и гарантии